氣體混配器是工業、科研及醫療領域中用于將兩種或多種高純氣體按設定比例精確混合的關鍵設備，廣泛應用于半導體工藝、環境模擬、呼吸氣體配制、燃燒試驗及標準氣體標定等場景。其核心目標是在寬流量范圍內實現穩定、可重復、無交叉污染的氣體配比。
氣體混配器性能高度依賴各功能模塊的精密協同，深入理解其組成與特點，是保障混合氣體品質與工藝安全的基礎。
一、高精度質量流量控制器（MFC）
每路氣體配備獨立MFC，基于熱式或壓差原理實時測量并閉環控制流量；
量程覆蓋從10sccm至數十slm，重復性≤±0.2%，響應時間＜1秒；
支持數字通信（如RS485、Modbus），可遠程設定流量參數。
二、混合腔室
采用湍流或靜態混合結構（如多孔板、螺旋導流片），確保氣體在短距離內充分擴散混合；
材質為316L不銹鋼或電拋光處理（Ra≤0.4μm），內壁光滑，防止吸附或殘留；
容積經流體力學優化，兼顧混合效率與響應速度。
三、控制系統與人機界面
嵌入式PLC或工控機運行混合算法，支持比例模式（如5%O?+95%N?）或總流量+比例雙控；
彩色觸摸屏實時顯示各路流量、混合比例、壓力及報警狀態；
可存儲多組配方，一鍵調用，適配不同工藝需求。
四、壓力與溫度補償單元
內置PT100溫度傳感器與壓力變送器，對MFC輸出進行溫壓補償，消除環境波動影響；
確保在入口壓力波動（如0.2–0.6MPa）下仍維持高精度配比。
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